日本CKD喜開理半導(dǎo)體電動執(zhí)行器滑塊型ECV

日本CKD喜開理半導(dǎo)體電動執(zhí)行器滑塊型ECV

CKD 日本喜開理電動執(zhí)行器滑塊型 ECV 系列深度解析

一、核心技術(shù)與設(shè)計理念

ECV 系列是 CKD 專為潔凈環(huán)境與長行程搬運(yùn)需求開發(fā)的低發(fā)塵皮帶驅(qū)動型電動執(zhí)行器，基于 ETV 系列技術(shù)升級，通過全防護(hù)罩結(jié)構(gòu) + 吸氣端口設(shè)計，將發(fā)塵量降低至 ISO 4 級（10 級）潔凈標(biāo)準(zhǔn)，尤其適合半導(dǎo)體、食品醫(yī)藥等高潔凈領(lǐng)域。其雙線性導(dǎo)軌 + 同步皮帶傳動結(jié)構(gòu)，在保證剛性的同時實現(xiàn)最高 2000mm/s 的線性速度，最大行程達(dá) 3500mm（ECV-17/22），比滾珠絲桿型成本低 30% 以上，是長距離輕載搬運(yùn)的經(jīng)濟(jì)性選擇。該系列支持三菱、安川、松下等12 家主流伺服品牌，并提供食品級 FP1 規(guī)格（流路部使用 NSF H1 潤滑油）和低發(fā)塵 ECV 衍生型號，滿足多樣化環(huán)境需求。

二、型號參數(shù)與性能指標(biāo)

ECV-05：本體寬度 50mm，水平負(fù)載 3kg，行程范圍 100-800mm，最高速度 2000mm/s，適配 100W 伺服馬達(dá)，重復(fù)定位精度 ±0.08mm，適合輕載短程搬運(yùn)。

ECV-06：本體寬度 65mm，水平負(fù)載 3kg，行程范圍 100-800mm，支持 100W 伺服馬達(dá)，采用 9mm 寬皮帶傳動，適合高速輕載場景。

ECV-10：本體寬度 102mm，水平負(fù)載 10kg，行程范圍 100-2550mm，最高速度 1600mm/s，適配 100W 伺服馬達(dá)，適合中長距離物料移送。

ECV-14（FP1 食品級）：本體寬度 135mm，水平負(fù)載 25kg，行程范圍 100-3050mm，最高速度 2000mm/s，采用食品級潤滑系統(tǒng)，符合 FDA 與歐盟食品安全標(biāo)準(zhǔn)。

ECV-17：本體寬度 170mm，水平負(fù)載 45kg，行程范圍 100-3500mm，適配 400W 伺服馬達(dá)，支持超長行程連續(xù)作業(yè)，發(fā)塵量比傳統(tǒng)型號減少 90%。

ECV-22：本體寬度 220mm，水平負(fù)載 85kg，行程范圍 100-3400mm，最高速度 2000mm/s，為系列旗艦型號，可承載大型設(shè)備搬運(yùn)。

通用特性：全系標(biāo)配外置潤滑脂加注口和無電池絕對編碼器，保養(yǎng)工時減少 50% 以上；防護(hù)等級 IP54 可抵御粉塵和液體飛濺，工作溫度范圍 - 10~+60℃。

三、型號組合應(yīng)用實例

案例：半導(dǎo)體晶圓檢測線

在某芯片封裝廠的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)中，采用 ECV-17（低發(fā)塵型） 與 EKS-06L 的組合方案：

ECV-17 作為水平輸送軸，以 2000mm/s 的速度完成 3050mm 行程的晶圓移送，其 45kg 水平負(fù)載能力可穩(wěn)定承載雙層檢測設(shè)備；

EKS-06L 作為垂直定位軸，通過 ±0.01mm 重復(fù)定位精度實現(xiàn)檢測探頭精準(zhǔn)對焦，滿足半導(dǎo)體納米級精度要求；

協(xié)同控制：利用 CKD 的 ECMG 多軸控制器 通過 EtherCAT 總線 實現(xiàn)雙軸同步運(yùn)動，檢測節(jié)拍誤差小于 ±2ms，設(shè)備綜合效率（OEE）提升至 96% 以上。

拓展場景：

食品包裝：在餅干生產(chǎn)線中，ECV-14-FP1 配合 EBR-12L 實現(xiàn)餅干定量分揀，其食品級潤滑系統(tǒng)避免油脂污染，符合 GMP 認(rèn)證要求。

物流倉儲：在 AGV 搬運(yùn)系統(tǒng)中，ECV-22 與 ETS-22（滑塊型電動執(zhí)行器） 協(xié)同作業(yè)，前者完成 3400mm 長距離水平搬運(yùn)，后者實現(xiàn) 33kg 貨物垂直舉升，構(gòu)建柔性物流網(wǎng)絡(luò)。

四、核心優(yōu)勢與差異化競爭力

低發(fā)塵特性：全罩式密封結(jié)構(gòu) + 吸氣端口設(shè)計，可吸附 90% 以上的運(yùn)動產(chǎn)生粉塵，滿足 ISO 4 級潔凈環(huán)境要求，適用于半導(dǎo)體光刻、醫(yī)藥灌裝等敏感場景。

長行程經(jīng)濟(jì)性：皮帶驅(qū)動方案成本比滾珠絲桿低 30%，最大行程達(dá) 3500mm，是 EKS-L 系列的 1.75 倍，適合預(yù)算敏感型長距離搬運(yùn)。

多環(huán)境適配：提供食品級（FP1）、低發(fā)塵（ECV）、防銹處理等特殊規(guī)格，可在 - 10~+60℃環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，支持 24 小時連續(xù)作業(yè)。

維護(hù)便捷性：外置潤滑系統(tǒng)支持免拆卸保養(yǎng)，無電池絕對編碼器減少故障點，平均時間（MTBF）達(dá) 20,000 小時。

技術(shù)延伸：ECV 系列與 CKD 的 ECMG 多軸控制器 結(jié)合，可實現(xiàn) 16 軸同步控制，支持 S 型加減速、圓弧插補(bǔ)等復(fù)雜軌跡規(guī)劃，適用于自動化生產(chǎn)線的全流程優(yōu)化。其皮帶張力自動調(diào)節(jié)功能可減少 90% 的人工校準(zhǔn)工作量，顯著提升設(shè)備穩(wěn)定性。