日本CKD半導(dǎo)體通用型直驅(qū)馬達(dá)(ABSODEX)

日本CKD半導(dǎo)體通用型直驅(qū)馬達(dá)(ABSODEX)

一、核心技術(shù)架構(gòu)與產(chǎn)品體系

ABSODEX 作為 CKD 專為半導(dǎo)體制造研發(fā)的直驅(qū)馬達(dá)，采用無齒輪直驅(qū)技術(shù)，消除傳統(tǒng)傳動(dòng)鏈的間隙與磨損問題，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位精度與免維護(hù)運(yùn)行。其產(chǎn)品矩陣覆蓋四大系列：

AX1R 高精度型：分度精度達(dá) ±15 秒，軸跳動(dòng)≤0.01mm，適用于晶圓檢測(cè)、芯片鍵合等精密場景。

AX2R 高速型：最高轉(zhuǎn)速 300rpm，響應(yīng)時(shí)間 < 5ms，支持高速旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)與電子元件高速搬運(yùn)。

AX4R 大扭矩型：最大扭矩 1000N?m，可驅(qū)動(dòng)大慣性負(fù)載，適用于晶圓傳輸機(jī)械臂與封裝設(shè)備，提供電磁制動(dòng)選項(xiàng)。

AX7000X 超高精度型：分度精度 ±2 秒，分辨率 419 萬脈沖 / 轉(zhuǎn)，等速旋轉(zhuǎn)波動(dòng)≤0.06°，專為納米級(jí)對(duì)位置換設(shè)計(jì)。

所有型號(hào)均標(biāo)配無電池絕對(duì)編碼器，支持?jǐn)嚯姾笪恢糜洃?，無需原點(diǎn)復(fù)位，滿足半導(dǎo)體產(chǎn)線連續(xù)運(yùn)行需求。

二、半導(dǎo)體場景適配特性

超潔凈環(huán)境設(shè)計(jì)

全密封鋁合金殼體，內(nèi)部填充低發(fā)塵潤滑脂，運(yùn)行時(shí)發(fā)塵量 < 10 particles/ft3（0.5μm 以上顆粒），符合 ISO Class 5 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。

可選配 ESD 防靜電涂層，表面電阻控制在 10?~10?Ω，有效避免靜電對(duì)晶圓的損傷。

防護(hù)等級(jí)達(dá) IP65，部分型號(hào)符合 ATEX 防爆認(rèn)證（Ex d II B T4 Gb），適用于高風(fēng)險(xiǎn)工藝環(huán)境。

高動(dòng)態(tài)響應(yīng)與精度

AX1R 系列重復(fù)定位精度 ±5 秒，配合高精度分割算法，可實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)封裝中 ±1μm 的貼裝精度。

AX2R 系列支持 S 型加減速曲線，在 300mm 晶圓傳輸中實(shí)現(xiàn) 0.1 秒內(nèi)的啟停控制，減少慣性沖擊。

AX7000X 系列采用高剛性軸承，軸剛度提升 30%，可承受軸向載荷 500N，適用于精密壓合工藝。

智能監(jiān)控與預(yù)防性維護(hù)

內(nèi)置扭矩負(fù)載率、溫度、振動(dòng)傳感器，通過 AX Tools 軟件實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)運(yùn)行狀態(tài)，提前預(yù)警潛在故障（如軸承磨損、繞組過熱）。

支持遠(yuǎn)程參數(shù)調(diào)整與程序更新，可接入 MES 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)設(shè)備全生命周期管理。

三、驅(qū)動(dòng)與控制解決方案

多協(xié)議兼容驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

標(biāo)配 TS/TH 型驅(qū)動(dòng)器，支持 EtherCAT、Profinet、CC-Link IE TSN 等工業(yè)以太網(wǎng)協(xié)議，通信周期低至 100μs。

新增網(wǎng)絡(luò)運(yùn)行模式（直接輸入模式），可通過上位控制器直接發(fā)送位置指令，減少 PLC 處理延遲。

支持多軸同步控制（如 4 軸聯(lián)動(dòng)），可定制運(yùn)動(dòng)軌跡算法以匹配特定工藝需求。

智能調(diào)試工具鏈

AX Tools 軟件集成 AI 自動(dòng)調(diào)諧功能，可根據(jù)負(fù)載特性自動(dòng)優(yōu)化 PID 參數(shù)，將調(diào)試時(shí)間縮短 60% 以上。

提供可視化編程界面，支持凸輪曲線生成與軌跡模擬，可快速實(shí)現(xiàn)復(fù)雜運(yùn)動(dòng)路徑（如螺旋線、橢圓插補(bǔ)）。

四、技術(shù)參數(shù)與選型指南

高精度型（AX1R-022）

最大扭矩：22N?m

重復(fù)定位精度：±5 秒

最高轉(zhuǎn)速：240rpm

允許負(fù)載慣性力矩：0.6kg?m2

高速型（AX2R-018）

最大扭矩：18N?m

重復(fù)定位精度：±10 秒

最高轉(zhuǎn)速：300rpm

允許負(fù)載慣性力矩：0.5kg?m2

大扭矩型（AX4R-10W）

最大扭矩：1000N?m

重復(fù)定位精度：±20 秒

最高轉(zhuǎn)速：120rpm

允許負(fù)載慣性力矩：100kg?m2

超高精度型（AX7000X-050）

最大扭矩：50N?m

分度精度：±2 秒

分辨率：419 萬脈沖 / 轉(zhuǎn)

等速旋轉(zhuǎn)波動(dòng)：±0.06°

五、安裝與維護(hù)建議

精密安裝規(guī)范

安裝基面平面度需≤0.02mm/m，建議使用激光干涉儀校準(zhǔn)。

采用柔性聯(lián)軸器（如梅花聯(lián)軸器），避免剛性沖擊損壞編碼器。

預(yù)防性維護(hù)策略

每運(yùn)行 200 小時(shí)檢查編碼器線纜接口，確保屏蔽接地電阻 < 1Ω。

通過 AX Tools 軟件監(jiān)控電機(jī)繞組溫度，閾值設(shè)置為 80℃（報(bào)警）與 90℃（停機(jī)）。

每 6 個(gè)月清潔電機(jī)散熱孔，避免粉塵堆積影響散熱。

六、配套生態(tài)與技術(shù)支持

全棧開發(fā)工具

AX Tools 軟件支持梯形圖編程、運(yùn)動(dòng)軌跡仿真及 FFT 頻譜分析，可診斷機(jī)械共振并自動(dòng)生成濾波器參數(shù)。

提供 Python API 接口，方便與客戶自研控制系統(tǒng)集成。